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      半導體設備

      真空無氧烤箱

      應用于航空、航天、石油、化工、船舶、電子、通訊等科研及生產單位,主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化,IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別)、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干,電工產品、材料、零備等的高溫潔凈和無氧環境中干燥和老化試驗。

      • 產品信息

      一、應用介紹:應用于航空、航天、石油、化工、船舶、電子、通訊等科研及生產單位,主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化,IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別)、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干,電工產品、材料、零備等的高溫潔凈和無氧環境中干燥和老化試驗。
      主要特點:節省氮氣(30LPM),具有升溫快、節能等特點,獨特的送風、排風系統,確保爐箱溫度均勻,美國金屬過濾器,確保潔凈度的要求。

      二、技術指標:
      2.1長期使用溫度:400℃;(最高溫度:450℃)
      2.2控溫精度:±1℃; 

      2.3 溫度均勻度:≤2%MFS;

      2.4最大升溫速率:≤8℃/min;

      2.5降溫速率:400℃-80℃,≤2.5h;

      2.6 降溫方式:風冷;

      2.7極限真空度:≤10pa

      2.8氧含量指標:常溫下≤50ppm;高溫下≤30ppm

      2.9潔凈度:class100級


      三、加熱方式:

          3.1 加熱元件:嵌入式FEC加熱板,環形四周加熱;

          3.2 保溫材料:陶瓷纖維材料;


      四、降溫方式:

      4.1 風冷降溫;空氣放大器強制抽排;


      4.3 環境氣體吹掃爐膽外壁,加快降溫速率;


       型號
      MOLZK-32D1
      MOLZK-118D1
      MOLZK-282D1
      內尺寸(mm
      Φ270×500 (使用:180*400*180mm
      Φ535×770(使用:376*566*360mm
      W710*H710*D560
      層板數
      一層
      一層
      一層

      真萍科技作為專業的烘箱設備制造廠商,可根據客戶特殊需求定制您需要滿意的產品,有需求的客戶詳情咨詢:400-608-2908。

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